《多晶硅工厂设计规范》（GB51034-2014）【全文附高清无水印PDF+DOC/Word版下载】

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标准编号：GB51034-2014

标准名称：多晶硅工厂设计规范

英文名称：Code for design of polysilicon plant

发布日期：2014-08-27

实施日期：2015-05-01

发布单位：国家市场监督管理总局

中国标准分类：P76(通信工程)

国际标准分类：29.045(半导体材料)

简介：本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。





 

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