《锗单晶位错密度的测试方法》（GB/T5252-2020）【全文附高清无水印PDF版下载】

浏览量：时间：2020-06-26 01:14:39

《锗单晶位错密度的测试方法》（GB/T5252-2020）【全文附高清无水印PDF版下载】

标准号：GB/T5252-2020

中文标准名称：锗单晶位错密度的测试方法

英文标准名称：Test method for dislocation density of monocrystal germanium

中国标准分类号（CCS） H21 国际标准分类号（ICS） 77.040

发布日期 2020-06-02 实施日期 2021-05-01

主管部门国家标准化管理委员会归口单位全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

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