《电子工业用四氯化硅》(GB/T38867-2020)【全文附PDF版下载】
浏览量: 时间:2020-09-10 04:07:34
《电子工业用四氯化硅》(GB/T38867-2020)【全文附PDF版下载】
标准号:GB/T38867-2020
中文标准名称:电子工业用四氯化硅
英文标准名称:Silicon tetrachloride for electronic industry
中国标准分类号(CCS) G86 国际标准分类号(ICS) 71.100.20
发布日期 2020-07-21 实施日期 2021-02-01
主管部门 国家标准化管理委员会 归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
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