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《MEMS加速度传感器测试方法》（SJ21264-2018）【全文附高清PDF+DOC/Word版下载】
标准号：SJ21264-2018
标准名称：MEMS加速度传感器测试方法
英文名称：Test methods for MEMS acceleration transducer
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
发布单位：国家国防科技工业局
中国标准分类:L55(微电路综合)
国际标准分类:31.200(集成电路、微电子学)
简介：本标准规定了MEMS加速度传感器电参数的测试环境、测试设备和仪器的一般要求，以及参数测试目的、测试框图、测试原理、规定条件、测试步骤和计算方法。
本标准适用于MEMS加速度传感器的偏值、标度因数、阈值、分辨率、偏值短期稳定性、标度因数短期稳定性和偏值短期重复性等参数测试。
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