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《多晶硅工厂设计规范》（GB51034-2014）【全文附高清无水印PDF+DOC/Word版下载】
标准编号：GB51034-2014
标准名称：多晶硅工厂设计规范
英文名称：Code for design of polysilicon plant
发布日期：2014-08-27
实施日期：2015-05-01
发布单位：国家市场监督管理总局
中国标准分类：P76(通信工程)
国际标准分类：29.045(半导体材料)
简介：本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
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